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电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间,应包括活动地板以下的下技术夹层,洁净生产层和吊顶以上的技术夹层

各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时,宜采用微环境等型式。

洁净室(区)的辅助设备,维修间等技术支持区,宜集中布置在洁净室(区)的相邻房间,技术支持区的空气洁净度等级应低于洁净室(区)的等级。